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标题
Backside patterning process enablement and its challenges for driving Moore's Law
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.3054365
DOI
10.1117/12.3054365 doi
其它 期刊：Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning XIV
作者：Nikhil Mehta; Mark C. Phillips
出版日期：2025-04-25
求助人
简单的如之 在 2026-07-16 17:28:34 发布自广东，悬赏 20 积分
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