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DRY ETCHING OF HIGH-K DIELECTRIC PZT STACKS FOR INTEGRATED PASSIVE DEVICES |
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期刊:Integrated Ferroelectrics 作者:G. Beique; J. Almerico; R. Ditizio; G. Guégan; Jean Philipe Queniot 出版日期:2006-01-01 |
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(2025-6-4)