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The affinity of Si–N and Si–C bonding in amorphous silicon carbon nitride (a-SiCN) thin film
非晶态氮化硅碳(a-SiCN)薄膜中Si-N和Si-C键的亲和力
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期刊:Diamond and Related Materials 作者:C.W. Chen; Chien-Chang Huang; Yung-Ya Lin; Li-Chiou Chen; K.H. Chen 出版日期:2005-03-01 |
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