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Numerical Simulation of Cryogenic Etching: Model with Delayed Desorption
低温刻蚀的数值模拟:延迟解吸模型
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期刊:Russian Microelectronics 作者:M. Rudenko; A. V. Myakon’kikh; В. Ф. Лукичев 出版日期:2021-01-01 |
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