| 标题 |
  Low temperature (&lt;700 °C) SiO2 and Si-rich SiO2 films: Short review 低温（<700°C）SiO2和富硅SiO2薄膜：综述
相关领域
材料科学
化学气相沉积
电介质
硅
沉积（地质）
光电子学
太阳能电池
纳米技术
工程物理
古生物学
沉积物
工程类
生物
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：C. Falcony; Denise Estrada‐Wiese; J. De Anda; Oscar Pérez-Díaz; M. Aceves‐Mijares 出版日期：2023-04-17 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
pluto
cdercder
冰魂
SYLH
平常的毛豆
11哥
科研小民工
非而者厚
jenningseastera
iNk
gao_yiyi
昏睡的蟠桃
HEIKU
余味
zgt01
Oracle
高大凌寒
斯寜
VT
遇上就这样吧
皖公网安备34019202002308
