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Tensile and compressive stress dependency of the transverse (e31,f) piezoelectric coefficient of PZT thin films for MEMS devices
MEMS器件用PZT薄膜横向(e31，f）压电系数的拉压应力依赖性
相关领域
材料科学 压电 压电系数 电介质 悬臂梁 薄膜 横截面 微电子机械系统 机电耦合系数 复合材料 光学 光电子学 纳米技术 结构工程 物理 工程类
网址
https://doi.org/10.1117/12.714960
DOI
10.1117/12.714960 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：K. Prume; Paul Muralt; Thorsten Schmitz-Kempen; S. Tiedke
出版日期：2007-04-06
求助人
赵康康 在 2025-05-04 15:26:54 发布自山东，悬赏 20 积分
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