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标题
Plasma-surface interactions of nanoporous silica during plasma-based pattern transfer using C4F8 and C4F8∕Ar gas mixtures
C4F8和C4F8/Ar气体混合物等离子体图案转移过程中纳米多孔二氧化硅的等离子体-表面相互作用
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1116/1.1821584
DOI
10.1116/1.1821584 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Xuefeng Hua; Christian Stolz; G. S. Oehrlein; P. Lazzeri; N. Coghe; et al
出版日期：2004-12-20
求助人
nenoaowu 在 2025-06-16 16:30:59 发布自广东，悬赏 10 积分
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