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标题
Synthesis of Cubic Nanocrystalline Silicon Carbide (3C-SiC) Films by HW-CVD Method
HW-CVD法合成立方纳米晶碳化硅（3C-SiC）薄膜
相关领域
材料科学 纳米晶材料 碳化硅 纳米晶硅 碳化物 硅 工程物理 纳米技术 复合材料 光电子学 晶体硅 非晶硅 工程类
网址
https://doi.org/10.1007/s12633-015-9358-8
DOI
10.1007/s12633-015-9358-8 doi
其它 期刊：Silicon
作者：M.M. Kamble; Vaishali Waman; Azam Mayabadi; Adinath M. Funde; Vasant Sathe; et al
出版日期：2016-02-02
求助人
正直白梅 在 2025-07-01 15:09:56 发布自浙江，悬赏 10 积分
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