Design, Analysis, Simulation, and Fabrication of a Novel Linear MEMS Capacitive Inclinometer

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标题	Design, Analysis, Simulation, and Fabrication of a Novel Linear MEMS Capacitive Inclinometer
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/7361/8432068/08400559.pd...
DOI	10.1109/jsen.2018.2851660 doi
其它	期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Fatemeh Hosseini; Mahdiyeh Mehran; Shamsoddin Mohajerzadeh; Omid Shoaei 出版日期：2018-06-30
求助人	T_KYG 在 2026-06-17 14:34:33 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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