Theoretical study of the chemical reaction mechanisms and reaction rates of CFx + SFy (where x = 1–3 and y = 1–6) in SF6–polytetrafluoroethylene arc plasma

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标题	Theoretical study of the chemical reaction mechanisms and reaction rates of CFx + SFy (where x = 1–3 and y = 1–6) in SF6–polytetrafluoroethylene arc plasma
网址	https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/doi/10.1063/1.51281...
DOI	10.1063/1.5128147 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Mengyuan Xu; Jing Yan; Minghao Yang; Yingsan Geng; Zhiyuan Liu; et al 出版日期：2019-11-18
求助人	开朗的仰在 2026-07-09 16:23:30 发布自山东，悬赏 10 积分
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