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标题
The characteristic behavior of TMAH water solution for anisotropic etching on both Silicon substrate and SiO2 layer
网址
http://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/85704/1/29.pdf
DOI
10.1016/s0924-4247(01)00639-2 doi
其它 期刊：Sensors and Actuators A-physical
作者：Ping-Hei Chen; Hsin-Yah Peng; C. Hsieh; M. Chyu
出版日期：2001-09-30
求助人
Gabvin 在 2026-07-26 21:39:17 发布自北京，悬赏 10 积分
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