Giant electro-rheological polishing of inner walls of narrow groove for Ge semiconductor material by array wire electrodes

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标题	Giant electro-rheological polishing of inner walls of narrow groove for Ge semiconductor material by array wire electrodes
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmapro.2024.10.010
DOI	10.1016/j.jmapro.2024.10.010 doi
其它	期刊：Journal of Manufacturing Processes 作者：Haihong Ai; Tianqi Song; Pingfa Ren; Kun Wang; Xiaomin Xiong; et al 出版日期：2024-10-13
求助人	1226813885 在 2026-07-13 00:03:49 发布自北京，悬赏 10 积分
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