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Effect of radiofrequency bias power on transmission spectrum of flat-cutoff sensor in inductively coupled plasma 相关领域
物理
感应耦合等离子体
切断
截止频率
等离子体
传输(电信)
功率(物理)
原子物理学
光学
电气工程
核物理学
量子力学
工程类
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期刊:Physics of Plasmas 作者:H. J. Yeom; Gwang-Seok Chae; Min Young Yoon; W. Kim; J.H. Lee; et al 出版日期:2024-09-01 |
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