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 Local voltage contrast changes in MOSFET using scanning electron microscopy with photoelectron beam technology 利用光电子束技术的扫描电子显微镜研究MOSFET的局部电压对比度变化
相关领域
材料科学
MOSFET
扫描电子显微镜
光电子学
栅氧化层
辐照
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电子束处理
NMOS逻辑
阴极射线
晶体管
分析化学（期刊）
电子
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期刊： 作者：Daiki Sato; Yuta Arakawa; Kotaro Niimi; Keika Fukuroi; Yutaro Tajiri; et al 出版日期：2024-02-23 |
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