| 标题 |
Micromachined Isolators for Shock and Vibration Reliability of MEMS Sensors: Fabrication, Damping, and Integration
相关领域
微电子机械系统
制作
可靠性（半导体）
振动
休克（循环）
材料科学
加速度计
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机械工程
工程类
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物理
光电子学
医学
内科学
操作系统
量子力学
替代医学
病理
功率（物理）
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| 网址 |
AI链接 auburn.edu |
| DOI |
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| 其它 |
期刊： 作者：Brent Bottenfield 出版日期：2020-11-20 |
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aldnoahczy
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(2025-6-4)
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