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标题
Micromachined Isolators for Shock and Vibration Reliability of MEMS Sensors: Fabrication, Damping, and Integration
相关领域
微电子机械系统 制作 可靠性（半导体） 振动 休克（循环） 材料科学 加速度计 声学 机械工程 工程类 结构工程 计算机科学 物理 光电子学 医学 量子力学 操作系统 内科学 病理 功率（物理） 替代医学
网址
https://etd.auburn.edu/handle/10415/7497
AI链接 auburn.edu
DOI
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其它 期刊：
作者：Brent Bottenfield
出版日期：2020-11-20
求助人
aldnoahczy 在 2026-01-29 08:44:10 发布自福建，悬赏 10 积分
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