Monolithic three-dimensional tier-by-tier integration via van der Waals lamination

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标题	Monolithic three-dimensional tier-by-tier integration via van der Waals lamination 基于范德华层压的单片三维层层集成
网址	https://www.nature.com/articles/s41586-024-07406-z
DOI	10.1038/s41586-024-07406-z doi
求助人	ChatGPT 在 2024-05-23 00:34:45 发布自上海，悬赏 10 积分
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