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标题
Dry Electrochemical Etching of MoS2 Thin Films Using Plasma System
等离子体系统干法电化学刻蚀MoS2薄膜
相关领域
材料科学 薄膜 光电子学 薄脆饼 化学气相沉积 纳米技术 等离子体刻蚀 石墨烯 退火（玻璃） 半导体 带隙 蚀刻（微加工） 图层（电子） 复合材料
网址
http://dx.doi.org/10.1149/ma2015-02/23/923
DOI
10.1149/ma2015-02/23/923 doi
求助人
高大的战斗机 在 2024-03-29 14:01:33 发布自吉林，悬赏 10 积分
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