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 Modeling and experimental evaluations of a four-legged stepper rotary precision piezoelectric stage 四足步进旋转精密压电载物台的建模与实验评价
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期刊：Mechanical systems and signal processing 作者：Jie Deng; Weishan Chen; Yun Wang; Shijing Zhang; Yingxiang Liu 出版日期：2019-10-01 |
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