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Characteristics of High-Power Impulse Magnetron Sputtering ITO/Ag/ITO Films for Application in Transparent Micro-LED Displays
高功率脉冲磁控溅射ITO/Ag/ITO透明微LED薄膜特性研究
相关领域
薄板电阻
材料科学
氧化铟锡
光电子学
高功率脉冲磁控溅射
透射率
欧姆接触
溅射沉积
可见光谱
表面粗糙度
扫描电子显微镜
溅射
透射电子显微镜
退火(玻璃)
光学
薄膜
纳米技术
复合材料
图层(电子)
物理
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其它 |
期刊:ACS applied electronic materials 作者:Kai‐Ping Chang; Yu-Wun Chien; Po-Hsiang Wang; Ching Yu Yen; Yingxiang Lin; et al 出版日期:2023-02-06 |
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