标题 |
Enhanced linearity through high-order antisymmetric vibration for MEMS DC power sensor
利用高阶反对称振动增强MEMS直流功率传感器线性度
相关领域
反对称关系
偏转(物理)
振动
谐振器
材料科学
线性
焦耳加热
微束
微电子机械系统
梁(结构)
物理
声学
光学
机械
光电子学
复合材料
量子力学
数学物理
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