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  Ultra-Pixel Precision Correction Method for Maskless Lithography Projection Distortion 无掩模光刻投影畸变的超像素精度校正方法
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期刊：Optics Express 作者：Long Huang; Yuqing Liu; Shaoqing Zhao; Yuxuan Cong; Dechun Zhou; et al 出版日期：2024-09-25 |
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