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Growth Characteristics and Film Properties of Cerium Dioxide Prepared by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition 相关领域
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期刊:Journal of The Electrochemical Society 作者:Woo‐Hee Kim; Min‐Kyu Kim; W. J. Maeng; Julien Gatineau; Venkat Pallem; et al 出版日期:2011-01-01 |
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