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  Reactive pulsed direct current magnetron sputtering deposition of semiconducting yttrium oxide thin film in ultralow oxygen atmosphere: A spectroscopic and structural investigation of growth dynamics 超低氧气氛下反应脉冲直流磁控溅射沉积半导体氧化钇薄膜：生长动力学的光谱和结构研究
相关领域
钇
材料科学
无定形固体
薄膜
纳米晶材料
溅射沉积
氧化物
分析化学（期刊）
溅射
结晶学
纳米技术
化学
冶金
色谱法
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