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标题
Improving surface smoothness of laser-fabricated microchannels for microfluidic application
提高微流控用激光微通道表面光洁度
相关领域
微通道 材料科学 蚀刻(微加工) 微流控 表面粗糙度 各向同性腐蚀 激光器 表面光洁度 反应离子刻蚀 纳米技术 激光烧蚀 光电子学 光学 复合材料 图层(电子) 物理
网址
DOI
10.1088/0960-1317/21/9/095008 doi
其它 期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering
作者:Z K Wang; Hui Zheng; Roderick Y. H. Lim; Yee Cheong Lam
出版日期:2011-08-04
求助人
zwtaihua1025 在 2024-02-27 20:57:06 发布自北京,悬赏 10 积分
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    zwtaihua1025 zwtaihua1025 Lv4 求助人 关闭了本次求助。

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  • 1年前

    zwtaihua1025 zwtaihua1025 Lv4 求助人 发起了本次求助

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