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The Effect of Diluted N2O Annealing Time on Gate Dielectric Reliability of SiC Metal-Oxide Semiconductor Capacitors and Characterization of Performance on SiC Metal-Oxide Semiconductor Field Effect Transistor
稀释N2O退火时间对SiC金属氧化物半导体电容器栅介质可靠性的影响及SiC金属氧化物半导体场效应晶体管性能表征
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期刊:Electronics 作者:Zhihua Dong; Leifeng Jiang; Manqi Su; Zeng Chen; Hui Liu; et al 出版日期:2024-01-31 |
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