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标题
The Effect of Diluted N2O Annealing Time on Gate Dielectric Reliability of SiC Metal-Oxide Semiconductor Capacitors and Characterization of Performance on SiC Metal-Oxide Semiconductor Field Effect Transistor
稀释N2O退火时间对SiC金属氧化物半导体电容器栅介质可靠性的影响及SiC金属氧化物半导体场效应晶体管性能表征
相关领域
材料科学 电容器 退火(玻璃) 光电子学 场效应晶体管 金属 半导体 电介质 氧化物 碳化硅 表征(材料科学) 可靠性(半导体) 晶体管 栅氧化层 栅极电介质 电气工程 纳米技术 复合材料 冶金 电压 工程类 功率(物理) 物理 量子力学
网址
DOI
10.3390/electronics13030596 doi
其它 期刊:Electronics
作者:Zhihua Dong; Leifeng Jiang; Manqi Su; Zeng Chen; Hui Liu; et al
出版日期:2024-01-31
求助人
董醉山 在 2024-03-01 14:21:23 发布自浙江,悬赏 10 积分
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