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 The Micro Pirani Gauge with Low Noise CDS-CTIA for In-Situ Vacuum Monitoring 用于现场真空监测的低噪声CDS-CTIA微型Pirani测量仪
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期刊：Journal of Semiconductor Technology and Science 作者：Gyung-Tae Kim; Changho Seok; Tae Hyun Kim; Jae Yong Park; Hee Yeoun Kim; et al 出版日期：2014-12-30 |
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