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Raman scattering monitoring of thin film materials for atomic layer etching/deposition in the nano-semiconductor process integration
纳米半导体工艺集成中原子层刻蚀/沉积薄膜材料的拉曼散射监测
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拉曼散射
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期刊:Chemical physics reviews 作者:Jae Bin Kim; D.-S. Kim; J. Kim; Jin Hyun Choe; Da Won Ahn; et al 出版日期:2023-12-01 |
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