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An adjustable Ar ion-beam activation strategy to achieve hydrophilic bonding of Si and diamond by deposited AlN interlayer
可调Ar离子束激活策略在AlN夹层中实现Si与金刚石亲水性结合
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期刊:Applied surface science 作者:Kechen Zhao; Jiupeng Zhao; Xinchun Guan; Waixiang Cao; Jiecai Han; et al 出版日期:2024-03-01 |
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