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标题
Theoretical study on tin oxide surface chemistry mechanism and thermodynamic properties for atomic layer deposition equipment optimization
原子层沉积设备优化中氧化锡表面化学机理及热力学性质的理论研究
相关领域
反应机理 反应速率常数 原子层沉积 物理化学 反应速率 反应动力学 过渡态理论 材料科学 化学反应 活化能 势能面 热力学 化学 图层(电子) 分子 纳米技术 有机化学 动力学 催化作用 冶金 物理 量子力学
网址
DOI
10.1007/s10853-023-09007-z doi
其它 期刊:Journal of Materials Science
作者:Pengkai Wang; Yongshuan Wu; Tianxiang Wu; Jinqing Xiao; Wenyuan Xu; et al
出版日期:2023-10-01
求助人
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