Theoretical study on tin oxide surface chemistry mechanism and thermodynamic properties for atomic layer deposition equipment optimization

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作者
Pengkai Wang,Yongshuan Wu,Tianxiang Wu,Jinqing Xiao,Wei Xu,Yichang Peng,Junhui Li
出处
期刊:Journal of Materials Science [Springer Science+Business Media]
卷期号:58 (40): 15634-15646
标识
DOI:10.1007/s10853-023-09007-z
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