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25‐1: Invited Paper: Achieving high uniformity and yield of 200 mm GaN‐on‐Si LED epiwafers for micro LED applications with precise strain‐engineering
25-1:特邀论文:通过精确应变工程实现用于微型LED应用的200 mm GaN-on-Si LED外延片的高均匀性和产量
相关领域
可制造性设计
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蓝宝石
光电子学
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期刊:Digest of technical papers 作者:Atsushi Nishikawa; Alexander Loesing; B. Slischka 出版日期:2019-05-29 |
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