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 Effect of Free Radicals on Irradiation Chemistry of a Double-Coordination Organotin (Sn 4 ) Photoresist by Adjusting Alkyl Ligands 自由基调节烷基配体对双配位有机锡（Sn 4）光致抗蚀剂辐照化学的影响
相关领域
激进的
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期刊：CCS Chemistry 作者：Hao Chen; Yifeng Peng; Haichao Fu; Fuping Han; Guangyue Shi; et al 出版日期：2024-01-24 |
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