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 Theoretical and Experimental Study of High‐Electromechanical‐Coupling Surface Acoustic Wave Resonators Based on A‐Plane (112¯0)$\left(\right. 11 \overset{\cdot}{2} 0 \left.\right)$ Al0.56Sc0.44N Films 基于A平面(112′0)$\left(\right.11\overset{\cdot}{2}0\left.\right)$Al0.56Sc0.44N薄膜的高机电耦合声表面波谐振器的理论与实验研究
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期刊：physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters 作者：Weilun Xie; Weipeng Xuan; Danyang Fu; Yingqi Jiang; Qikun Wang; et al 出版日期：2024-02-22 |
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