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 Polycrystalline silicon thin films processed with silicon ion implantation and subsequent solid-phase crystallization: Theory, experiments, and thin-film transistor applications 硅离子注入和随后的固相结晶处理多晶硅薄膜：理论、实验和薄膜晶体管应用
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Noriyoshi Yamauchi; R. Reif 出版日期：1994-04-01 |
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