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标题
Development of Matrix Resins for 193 nm Deep UV Photoresist
193nm深紫外光致抗蚀剂基体树脂的研制
相关领域
光刻胶 基质（化学分析） 光化学 化学 材料科学 纳米技术 色谱法 图层（电子）
网址
http://www.yxkxyghx.org/EN/10.7517/issn.1674-0475.191013
AI链接 yxkxyghx.orgdoi.org
DOI
10.7517/issn.1674-0475.191013 doi
其它 期刊：Imaging Science and Photochemistry
作者：Wei Zibo; Wenchao Ma; Yingxin Qiu
出版日期：2020-05-15
求助人
觞f 在 2024-12-16 09:23:29 发布自江苏，悬赏 10 积分
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