| 标题 |
 BSE grey level-based CD-SEM metrology for scumming quantification in high-NA EUV contact holes 相关领域
计量学
光学
极紫外光刻
材料科学
校准
噪音（视频）
光电子学
尺寸计量学
准确度和精密度
遥感
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| 网址 | |
| DOI |
10.1117/12.3089713
doi
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| 其它 |
期刊：Metrology, Inspection, and Process Control XL 作者：Wei Sun; Dieter Van Den Heuvel; Hyo Seon Suh; Gian Lorusso; Anne-Laure Charley; et al 出版日期：2026-04-08 |
| 求助人 | |
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(2025-6-4)
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