Trench-Filling Epitaxy of Germanium on (001) Silicon Enhanced Using [100]-Oriented Patterns

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标题	Trench-Filling Epitaxy of Germanium on (001) Silicon Enhanced Using [100]-Oriented Patterns
网址	https://link.springer.com/content/pdf/10.1007/s11664-023-103...
DOI	10.1007/s11664-023-10306-z doi
其它	期刊：Journal of Electronic Materials 作者：Kota Kato; Kazuki Motomura; Jose A. Piedra-Lorenzana; Mohd Faiz Bin Amin; Takeshi Hizawa; et al 出版日期：2023-03-09
求助人	EV 在 2026-09-07 15:36:26 发布自上海，悬赏 10 积分
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