Optimizing Ultrathin 2D Transistors for Monolithic 3D Integration: A Study on Directly Grown Nanocrystalline Interconnects and Buried Contacts

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标题	Optimizing Ultrathin 2D Transistors for Monolithic 3D Integration: A Study on Directly Grown Nanocrystalline Interconnects and Buried Contacts
网址	https://doi.org/10.1002/adma.202314164
DOI	10.1002/adma.202314164 doi
其它	期刊：Advanced Materials 作者：Junseong Bae; Hyeyoon Ryu; Dohee Kim; Chang‐Seok Lee; Minsu Seol; et al 出版日期：2024-04-12
求助人	FireXIN 在 2026-07-17 22:19:31 发布自广东，悬赏 10 积分
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