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标题
Channel Bonding Monolithic CFET With Asymmetric 4 + 4 Stacked Si Nanosheets by Profile-Modulated Tri-Stage Etching
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DOI
10.1109/ted.2026.3736342 doi
其它 期刊:IEEE Transactions on Electron Devices
作者:Longge Mao; Yadong Zhang; Yupeng Lu; Junjie Li; Jiaxin Yao; et al
出版日期:2026-01-01
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wgx 在 2026-10-12 15:42:41 发布自四川,悬赏 10 积分
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