Plasma-polymer interactions: A review of progress in understanding polymer resist mask durability during plasma etching for nanoscale fabrication

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标题	Plasma-polymer interactions: A review of progress in understanding polymer resist mask durability during plasma etching for nanoscale fabrication
网址	http://dx.doi.org/10.1116/1.3532949
DOI	10.1116/1.3532949 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena 作者：Gottlieb S. Oehrlein; Raymond J. Phaneuf; David B. Graves 出版日期：2011-01-01
求助人	研友_LXOBO8 在 2026-10-17 22:45:54 发布自湖北，悬赏 10 积分
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