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标题
[高分] High-speed versatile pattern generator for high-resolution electron-beam lithography
网址
DOI
10.1117/12.3094212 doi
其它 期刊:Ninth International Workshop on Advanced Patterning Solutions (IWAPS 2025)
作者:Botong Sun; Chenhui Deng; Bohua Yin; Guanglu Xu; Jingyu Huang; et al
出版日期:2025
求助人
matou 在 2026-03-06 18:52:53 发布自广东,悬赏 50 积分
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