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High-speed versatile pattern generator for high-resolution electron-beam lithography |
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期刊:Ninth International Workshop on Advanced Patterning Solutions (IWAPS 2025) 作者:Botong Sun; Chenhui Deng; Bohua Yin; Guanglu Xu; Jingyu Huang; et al 出版日期:2025 |
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(2025-6-4)