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标题
Preferential sputtering effects in tantalum nitride thin films
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网址
DOI
10.1016/0040-6090 doi
提醒:求助人提供的doi与AI识别不一致 10.1016/0040-6090(85)90272-x Doi
其它 期刊:Thin Solid Films
作者:C. Palacio; J. M. Sanz; J.M. Martı́nez-Duart
出版日期:1985-02-01
求助人
龙12 在 2026-04-15 20:39:51 发布自山东,悬赏 10 积分
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