Electrodeposition of Platinum Group Metals for Interconnects Beyond 5nm Technology Node

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标题	Electrodeposition of Platinum Group Metals for Interconnects Beyond 5nm Technology Node 相关领域钌铂金材料科学铜电迁移成核无机化学化学工程过电位冶金化学复合材料电极物理化学催化作用电化学生物化学工程类有机化学
网址	https://doi.org/10.1149/ma2021-0124934mtgabs
DOI	10.1149/ma2021-0124934mtgabs doi
其它	期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM) 作者：Adele Pacquette; E. J. O’Sullivan; Mahadevaiyer Krishnan 出版日期：2021-05-30
求助人	徐栀在 2025-10-05 21:22:38 发布自四川，悬赏 10 积分
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