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 Development of ultrasensitive indium oxide layer with high response to NO2 gas in indium gallium zinc oxide stack structure using atomic layer deposition 利用原子层沉积法在铟镓锌氧化物叠层结构中研制对NO2气体高响应的超灵敏氧化铟层
相关领域
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期刊：Materials Letters 作者：Sunil Babu Eadi; Hyun-Jin Shin; Ki-Woo Song; H. W. Choi; Sung-Hoon Kim; et al 出版日期：2021-04-26 |
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