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Development of ultrasensitive indium oxide layer with high response to NO2 gas in indium gallium zinc oxide stack structure using atomic layer deposition

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作者
Sunil Babu Eadi,Hyun-Jin Shin,Ki-Woo Song,H. W. Choi,Sung-Hoon Kim,H.D. Lee
出处
期刊：Materials Letters [Elsevier BV]
日期：2021-04-26 卷期号：297: 129943-129943 被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.matlet.2021.129943
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