The erosion groove effects on RF planar magnetron sputtering

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标题	The erosion groove effects on RF planar magnetron sputtering 射频平面磁控溅射中的刻蚀槽效应相关领域材料科学等离子体沟槽（工程）溅射沉积高功率脉冲磁控溅射沟槽溅射沉积（地质）电容感应基质（水族馆）电阻式触摸屏腔磁控管光电子学薄膜复合材料冶金纳米技术电气工程海洋学物理地质学工程类古生物学生物量子力学图层（电子）沉积物
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2016.12.009
DOI	10.1016/j.surfcoat.2016.12.009 doi
其它	期刊：Surface & Coatings Technology 作者：R. Tadjine; Mounes M. Alim; Mohamed Kechouane 出版日期：2017-01-15
求助人	子不语在 2025-08-22 15:17:19 发布自江苏，悬赏 10 积分
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