High-aspect-ratio, smooth-sidewall etching of AlGaInP for photonic crystal light-emitting diodes

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标题	High-aspect-ratio, smooth-sidewall etching of AlGaInP for photonic crystal light-emitting diodes 光子晶体发光二极管用AlGaInP的高长宽比光滑侧壁刻蚀
网址	http://dx.doi.org/10.1116/1.2716713
DOI	10.1116/1.2716713 doi
求助人	jjaigll12 在 2025-08-19 19:45:07 发布自福建，悬赏 20 积分
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