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 Influence of chemical vapor precursor flow rate on the structure and thermal stability of phase-modulated VSiCN/Ag coatings 相关领域
材料科学
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Forest C. Thompson; F.M. Kustas; Kent Coulter; Grant A. Crawford 出版日期：2021-10-12 |
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