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Optical and mass spectrometric measurements of dissociation in low frequency, high density, remote source O2/Ar and NF3/Ar plasmas
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网址
https://doi.org/10.1116/1.5126429
DOI
10.1116/1.5126429 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Hanyang Li; Yingliang Zhou; Vincent M. Donnelly
出版日期：2020-02-12
求助人
wlj 在 2025-10-28 11:36:49 发布自山东，悬赏 10 积分
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