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标题
A magnetically levitated synchronous permanent magnet planar motor with concentric structure winding used for lithography machine
光刻机用同心结构绕组的磁悬浮同步永磁平面电机
相关领域
磁铁 同心的 有限元法 平面的 同步电动机 磁势 磁通量 机械工程 电磁线圈 拓扑(电路) 物理 计算机科学 控制理论(社会学) 工程类 电气工程 磁场 几何学 数学 计算机图形学(图像) 量子力学 控制(管理) 人工智能 热力学
网址
DOI
10.1063/1.4917332 doi
其它 期刊:Journal of Applied Physics
作者:Lu Zhang; Baoquan Kou; Feng Xing; Yinxi Jin; Hailin Zhang; et al
出版日期:2015-04-10
求助人
YZX 在 2025-07-31 11:52:13 发布自广西,悬赏 10 积分
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