A magnetically levitated synchronous permanent magnet planar motor with concentric structure winding used for lithography machine

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标题	A magnetically levitated synchronous permanent magnet planar motor with concentric structure winding used for lithography machine 光刻机用同心结构绕组的磁悬浮同步永磁平面电机相关领域磁铁同心的有限元法平面的同步电动机磁势磁通量机械工程电磁线圈拓扑（电路）物理计算机科学控制理论（社会学）工程类电气工程磁场几何学数学计算机图形学（图像）人工智能热力学量子力学控制（管理）
网址	https://doi.org/10.1063/1.4917332
DOI	10.1063/1.4917332 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Lu Zhang; Baoquan Kou; Feng Xing; Yinxi Jin; Hailin Zhang; et al 出版日期：2015-04-10
求助人	YZX 在 2025-07-31 11:52:13 发布自广西，悬赏 10 积分
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